Giải pháp giám sát tham số công cụ bán dẫn

Một transistor bán dẫn là một linh kiện có các đặc tính điện tử đặc biệt cho phép nó đóng vai trò là thành phần trong các vi mạch và thiết bị điện tử hiện đại như điện thoại, laptop, và nhiều sản phẩm khác. Do các linh kiện này có kích thước nhỏ và yêu cầu phương pháp sản xuất chính xác, các cơ sở sản xuất dành riêng cho việc sản xuất các linh kiện này rất quan trọng.
Những cơ sở này bao gồm nhiều cấp độ khác nhau, bao gồm các thiết bị xử lý không khí và thiết bị khử khí thải, phòng HEPA, phòng sạch fab, và khu vực phụ trợ. Việc kiểm soát áp suất, lưu lượng và nhiệt độ trong các cơ sở này là rất quan trọng.

Công cụ quá trình bán dẫn được sử dụng để sản xuất vi mạch và các linh kiện điện tử khác. Những công cụ này được thiết kế kỹ thuật cao và có rất nhiều ứng dụng như khí nén, điện, điện tử, hệ thống xử lý khí thải, phân phối hóa chất và khí, phát sóng tần số vô tuyến (RF), và chân không siêu cao. Các sản phẩm của Dwyer giúp đảm bảo rằng các công cụ quá trình đang được giám sát và điều khiển theo các tham số do chủ sở hữu hệ thống chỉ định.

Áp suất
Các thiết bị đo áp suất của Dwyer được sử dụng để giám sát lưu lượng giữa các công cụ quá trình và hệ thống xử lý khí thải.
Minihelic® II Differential Pressure Gage, Series 2-5000: Sản phẩm này có thiết kế nhỏ gọn và độ chính xác đủ cho hầu hết các ứng dụng yêu cầu. Nó có thể đo áp suất tối đa lên đến 30 psig, với thiết kế dễ đọc và dễ bảo trì.

Đồng hồ đo chênh áp suất Minihelic® II Series 2-5000

Mini-Photohelic® Switch/Gage, Series MP: Kết hợp giữa đồng hồ đo Minihelic® II và hai điểm chuyển mạch SPDT, có thể đo và điều khiển áp suất dương, âm hoặc chênh lệch áp suất với các chất khí không cháy và không ăn mòn.

Digihelic® Differential Pressure Controller, Series DHC: Thiết bị 3 trong 1 này bao gồm một đồng hồ đo kỹ thuật số, công tắc điều khiển và bộ truyền tín hiệu với cả đầu ra dòng điện và điện áp. Thiết kế này giúp giảm số lượng thiết bị cần sử dụng, tiết kiệm thời gian và chi phí lắp đặt.

Digihelic® Differential Pressure Controller, Series DHC

Photohelic® Switch/Gage, Series 3000MR/3000MRS: Sản phẩm kết hợp giữa một công tắc áp suất chênh lệch chính xác và một đồng hồ đo áp suất tương tự dễ đọc.

MDS Miniature Pressure Switch: Công tắc áp suất mini với thiết kế màng đôi giúp bảo vệ khỏi các tác động của sốc và rung động.

 

Lưu lượng
Các đồng hồ đo lưu lượng của Dwyer giám sát các khí trơ được sử dụng để xả các buồng công cụ quá trình.
Rate-Master® Polycarbonate Flowmeter, Series RM: Dòng sản phẩm đồng hồ đo lưu lượng chính xác cho cả khí và chất lỏng, với thân polycarbonate bền và không vỡ, giúp tăng độ chính xác và tuổi thọ của sản phẩm.

Rate-Master® Polycarbonate Flowmeter, Series RM

Mini-Master® Flowmeter, Series MM: Dành cho cả khí và chất lỏng, sản phẩm này có thiết kế nhỏ gọn và dễ dàng sử dụng, giúp cải thiện độ chính xác trong các phép đo lưu lượng.

Visi-Float® Flowmeter, Series VF: Với vỏ acrylic trong suốt, đồng hồ đo lưu lượng này cho phép đọc chính xác với các chất khí và chất lỏng.

Fluoropolymer Flowmeter, Series TVA: Lý tưởng cho các ứng dụng chất lỏng có độ tinh khiết cao hoặc ăn mòn.

All Fluoropolymer Flowmeter, Series TVA

P2 Flow Switch: Công tắc lưu lượng nhỏ gọn, sử dụng thiết kế piston, rất thích hợp cho các ứng dụng nước tinh khiết và không khí.

 

Nhiệt độ
Các thiết bị của Dwyer kiểm soát các mức nhiệt độ trong các buồng quá trình, quá trình làm nóng nước reverse osmosis (RO/DI), các quá trình dung môi nóng và axit.
Temperature/Process Controller, Series 32A: Dòng bộ điều khiển nhiệt độ này cung cấp sự kết hợp tuyệt vời giữa công suất, tính linh hoạt và giá trị, giúp đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt về kiểm soát nhiệt độ trong môi trường công nghiệp.

Temperature/Process Controller, Series 32A

Kết luận
Các sản phẩm của Dwyer đóng vai trò quan trọng trong việc giám sát và kiểm soát các tham số quan trọng trong các cơ sở sản xuất bán dẫn và các ngành công nghiệp khác, đảm bảo hoạt động chính xác, tin cậy và hiệu quả trong các ứng dụng đòi hỏi cao.
Liên hệ Công ty TNHH Thương Mại Dịch Vụ DLK
Địa chỉ: G6/14 Trần Văn Giàu, X. Lê Minh Xuân, H. Bình Chánh, TP.HCM
VPGD: 111/7 Vườn Lài, P. Phú Thọ Hoà, Q. Tân Phú, TP HCM
Website: https://dlk.com.vn/l
Email: info@dlk.com.vn
Hotline: 070 357 0101 – 093 279 2697